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密歇根大學優化綠色硅基MicroLED工藝,性能和穩定性得到提升

字體變大  字體變小 發布日期:2022-11-15  瀏覽次數:1541
核心提示:近期,密歇根大學宣布在MicroLED制造工藝上取得突破,這項新的工藝意味著你可以在硅上加入尺寸不到1微米的綠色LED,號稱可實現高

近期,密歇根大學宣布在MicroLED制造工藝上取得突破,這項新的工藝意味著你可以在硅上加入尺寸不到1微米的綠色LED,號稱可實現高性能和高穩定性。據悉,這項研究的目的是提升超高分辨率彩色微顯示器的制造工藝,以開發出適合AR/VR眼鏡的MicroLED技術。

據青亭網了解,AR/VR眼鏡使用的MicroLED需要非常小巧、低功耗,且具有穩定性和高效性。另外,MicroLED單個像素尺寸小于1微米,制造工藝相當復雜,生產過程的缺陷率超過50%,而這將導致額外成本。而為了改善上述問題,科技行業已經投入了大量資金。

目前已經可以制造出高效、大面積的藍色和紅色LED,但制造出高效、大面積的綠色LED非常困難,將LED組件尺寸縮減到1微米也具有挑戰性。而為了解決這一問題,密歇根大學教授Zetian Mi和他的團隊開發了一種亞微米級的III-氮化物綠色MicroLED,其特點是使用了直徑僅100到200納米,間距僅幾納米的納米線陣列。

科研人員表示:由于氮化物材料和硅襯底之間晶格參數不匹配,會引起絲狀位錯,納米線陣列的功能則是過濾這種絲狀位錯,在硅上可以制造穩定的綠色MicroLED。此外,這種綠色LED制造工藝很容易轉化為藍色,無需轉移就可以將藍色MicroLED集成在硅片上。

 
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