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生產型GaNMOCVD設備控制系統軟件設計

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  • 文件類型：PDF文檔
  • 文件大�。�1.1M
  • 更新日期：2014-07-15 11:34
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對“用于GaN的生產型MOCVD”設備控制系統的軟/硬件結構、關鍵技術進行了描述,介紹了國外幾種生產型GaNMOCVD設備控制系統的特點;分析了MOCVD設備控制技術的發展趨勢。
 
 
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